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車間智能物流傳輸系統(tǒng)


創(chuàng)新應(yīng)用機(jī)器人、AGV小車、桁架機(jī)器人、傳輸線、RFID等多種技術(shù)融合,通過模塊設(shè)計(jì),定制化系統(tǒng)集成,實(shí)現(xiàn)了車間物料全自動(dòng)上下料、搬運(yùn)、配送、緩存和精準(zhǔn)追溯。

關(guān)鍵詞:

泛半導(dǎo)體高端工藝裝備制造商、智能制造和整線集成解決方案提供商

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車間智能物流傳輸系統(tǒng)


相關(guān)產(chǎn)品

RSC-6000型異質(zhì)結(jié)PECVD設(shè)備(含自動(dòng)化)

設(shè)備采用射頻等離子體增加化學(xué)氣相沉積技術(shù),在制絨清洗后的硅片表面,沉積5-10NM非晶硅鈍化層。非晶硅鈍化層包括本征非晶硅層(I層)、摻雜非晶硅層(P層)和摻雜非晶硅層(N層),且具備切換成甚高頻電源進(jìn)行摻雜微晶硅層(P層)和參雜微晶硅層(N層)的沉積;配備等離子清洗系統(tǒng),可在腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)腔體和板框的自動(dòng)清洗功能,維護(hù)保養(yǎng)方便;自動(dòng)上下料系統(tǒng)具備上料自動(dòng)外觀(破片、缺口、崩邊)檢測及下料PL檢測功能,整機(jī)良率及穩(wěn)定性好。

RSP-100型掃描式磁控濺射設(shè)備

PVD又稱物理氣相沉積,RSP-100為多靶水平磁控濺射系統(tǒng),專為實(shí)驗(yàn)室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實(shí)驗(yàn)性平臺(tái),可滿足自動(dòng)往復(fù)多次鍍膜的要求。

RSD-100型原子層沉積設(shè)備

本設(shè)備可為單腔原子層積沉系統(tǒng),專為實(shí)驗(yàn)室工藝研發(fā)、材料開發(fā)等功能開發(fā)的一款多功能實(shí)驗(yàn)性平臺(tái),可針對性實(shí)現(xiàn)鈣鈦礦太陽能電池(PSCS)電子傳輸層薄膜(TIO2、SNO2等)的制備。

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